無塵車間是指在一定空間范圍內(nèi)將空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物減少到規(guī)定指標(biāo)下，將室內(nèi)的溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)而特別設(shè)計的房間。即不論外在空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能維持原先所設(shè)定要求的潔凈度、溫溫度及壓力等性能。潔靜度一級表示每立方英尺室內(nèi)的空氣所含有大或等于0.5微米的灰塵粒子不超過1顆；無塵車間10級則為不超過10顆；無塵車間100級、1000級...依次類推。
    在過去很多廠家安裝的是百級無塵車間，然而隨著科技日新月異的發(fā)展，尤其是集成電路生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展，集成電路芯片生產(chǎn)的線寬由0.45微米發(fā)展到0.11微米，甚至由微米級向納米級發(fā)展，溫度的變化可能影響生產(chǎn)工藝，導(dǎo)致成品率下降；同時，由于其生產(chǎn)工藝對潔凈度的要求很高，使得其無塵車間內(nèi)排風(fēng)量比較大。因此，這種無塵車間需要通過高精度的溫度控制，未消除溫度變化對生產(chǎn)的影響。如果用傳統(tǒng)的組合式空調(diào)器調(diào)溫的方式，要達(dá)到無塵車間內(nèi)高精度的溫度及潔凈度的控制是很困難的。

    那么到底該怎么辦呢？下面就來為大家介紹一種高精度、高密封無塵車間的做法。
    一種無塵車間，其特征在于：包括密封車間、空氣循環(huán)機(jī)組、送風(fēng)管路和排風(fēng)管路，所述密封車間的兩側(cè)墻體的內(nèi)側(cè)設(shè)有排風(fēng)通道，所述排風(fēng)通道上設(shè)有與所述密封車間內(nèi)部連通的排風(fēng)口，所述排風(fēng)通道與所述排風(fēng)管路連通，所述排風(fēng)管路與所述空氣循環(huán)機(jī)組連通；所述送風(fēng)管路一端與設(shè)置在車間吊頂上的送風(fēng)口連通，另一端與所述空氣循環(huán)機(jī)組連通；所述密封車間內(nèi)設(shè)有二次無塵車間，所述二次無塵車間的頂部及四周由鋼化玻璃圍城，二次無塵車間由支撐柱支撐距離地面20cm-30cm，二次無塵車間的頂部設(shè)有送風(fēng)口，所述送風(fēng)口與所述送風(fēng)管路連通。
    所述四面墻體采用兩層夾板中間內(nèi)襯阻燃芯材。
    所述密封車間的地面采用防靜電PVC地板或環(huán)氧樹脂涂層地板。
    所述排風(fēng)口上設(shè)有排風(fēng)百葉。
    這種高精度、高密封無塵車間結(jié)構(gòu)簡單，通過空氣循環(huán)機(jī)組對車間內(nèi)進(jìn)行氣體的交換，大大保證了室內(nèi)空氣的潔凈度，由于在無塵車間內(nèi)部再設(shè)置一個二級無塵車間，二級無塵車間采用鋼化玻璃制造，底部通過支撐柱支撐距離地面一定高度，保證了二級無塵車間中空氣有效的循環(huán)，進(jìn)一步提高了二級無塵車間的潔凈等級。